半导体晶片电阻率及半导体薄膜薄层电阻的测试 非接触涡流法

基础信息

标准号：GB/T 6616-2023发布日期：2023-08-06实施日期：2024-03-01全部代替标准：GB/T 6616-2009标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

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相近标准(计划)

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