微机电系统（MEMS）技术 带状薄膜抗拉性能的试验方法

基础信息

标准号：GB/T 38446-2020发布日期：2020-03-06实施日期：2020-10-01标准类别：方法中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

北京大学北京智芯传感科技有限公司中北大学中机生产力促进中心无锡华润上华科技有限公司北京必创科技股份有限公司

起草人

张威李海斌夏长奉石云波程红兵周浩楠张亚婷朱悦陈得民马书嫏

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