微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法

基础信息

标准号：GB/T 38447-2020发布日期：2020-03-06实施日期：2020-07-01标准类别：方法中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

北京大学北京智芯传感科技有限公司浙江博亚精密机械有限公司北京必创科技股份有限公司中机生产力促进中心沈阳国仪检测技术有限公司中北大学

起草人

张威张亚婷朱悦石云波周浩楠陈得民于振毅陆学贵李海斌程逸轩

相近标准(计划)

GB/T 42895-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS微结构弯曲强度试验方法GB/T 42896-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳尺度结构冲击试验方法20243541-T-469 微机电系统（MEMS）技术 溶液浓度测定的MEMS流体器件光学吸收试验方法20251991-T-469 微机电系统（MEMS）技术 局域表面等离子体共振传感微流控芯片技术要求20242021-T-469 微机电系统（MEMS）技术MEMS电容式麦克风性能试验方法20251988-T-469 微机电系统（MEMS）技术 扫描镜20242020-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS磁场传感器技术规范GB/T 44839-2024 微机电系统（MEMS）技术 MEMS材料微柱压缩试验方法20243539-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS驻极体式振动能量收集器性能测试方法20242019-T-469 微机电系统（MEMS）技术 MEMS硅压阻温压复合压力传感器芯片

相关服务热线： 如需《GB/T 38447-2020》相关的服务，可直接联系。 微析检测业务区域覆盖全国，专注为高分子材料、金属、半导体、汽车、医疗器械等行业提供大型仪器测试、性能测试、成分检测等服务。