硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

基础信息

标准号：GB/T 28276-2012发布日期：2012-05-11实施日期：2012-12-01上次复审日期：2023-12-28上次复审结论：继续有效标准类别：基础中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国电子科技集团第十三研究所北京大学中机生产力促进中心中国科学院上海微系统与信息技术研究所

起草人

崔波罗蓉熊斌陈海蓉刘伟张大成

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