硅片厚度和总厚度变化测试方法
Test method for thickness and total thickness variation of silicon slices
国家标准
推荐性
基础信息
标准号：GB/T 6618-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效全部代替标准：GB/T 6618-1995标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
北京有研半导体材料股份有限公司
起草人
卢立延孙燕杜娟
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