硅片电阻率测定 扩展电阻探针法

基础信息

标准号：GB/T 6617-2009发布日期：2009-10-30实施日期：2010-06-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：修订全部代替标准：GB/T 6617-1995标准类别：方法中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

南京国盛电子有限公司宁波立立电子股份有限公司

起草人

马林宝骆红吕立平刘培东谭卫东

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