表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法

基础信息

标准号：GB/T 20175-2006发布日期：2006-03-27实施日期：2006-11-01上次复审日期：2023-12-28上次复审结论：修订标准类别：方法中国标准分类号：N33国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院

采标情况

本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14606:2000。采标中文名称:表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法。

起草单位

清华大学电子工程系

起草人

查良镇陈旭黄天斌刘林王光普黄雁华

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