碳化硅单晶晶向的测试方法
行业标准
电子
基础信息
标准号：SJ/T 11500-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：制定
中国标准分类号：H83
国际标准分类号：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：方法标准
备案信息
备案号：50557-2015
备案日期：2015-07-08
备案公告：2015年第7号(总第187号)
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人
丁丽、郝建民、周智慧 等
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