硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
行业标准
有色金属
基础信息
标准号：YS/T 15-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：修订
代替标准：YS/T 15-1991
中国标准分类号：H21
国际标准分类号：77.040.
技术归口：全国有色金属标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
备案信息
备案号：50404-2015
备案日期：2015-07-08
备案公告：2015年第7号(总第187号)
适用范围
本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。
起草单位
南京国盛电子有限公司、有研新材料股份有限公司、上海晶盟硅材料有限公司
起草人
马林宝、杨帆、葛华等
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