表面化学分析 二次离子质谱 用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度
Surface chemical analysis—Secondary-ion mass spectrometry—Determination of boron atomic concentration in silicon using uniformly doped materials
基础信息
标准号：GB/T 20176-2025发布日期：2025-06-30实施日期：2026-01-01全部代替标准：GB/T 20176-2006标准类别：方法中国标准分类号：G 04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14237:2010。采标中文名称:表面化学分析二次离子质谱用均匀掺杂物质测定硅中硼的原子浓度。
起草单位
清华大学中国人民公安大学中国矿业大学（北京）北京大学
起草人
李展平郭冲刘婕刘兆伦马静怡张硕吴美璇和平王富芳孙令辉李芹周凌刘可心
相近标准(计划)
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