硅片氧沉淀特性的测试 间隙氧含量减少法

基础信息

标准号：GB/T 19444-2025发布日期：2025-06-30实施日期：2026-01-01全部代替标准：GB/T 19444-2004标准类别：方法中国标准分类号：H 21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

方丽霞陈卫群寇文辉王新社肖世豪朱晓彤尚海波章金兵姚献朋黄笑容郭红强刘丽娟张海英王江华

相近标准(计划)

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