表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法
Surface chemical analysis—Sputter depth profiling—Optimization using layered systems as reference materials
基础信息
标准号：GB/T 20175-2025发布日期：2025-06-30实施日期：2026-01-01全部代替标准：GB/T 20175-2006标准类别：方法中国标准分类号：G 04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14606:2022。采标中文名称:表面化学分析 溅射深度剖析 用层状膜系为参考物质的优化方法。
起草单位
清华大学中国人民公安大学中山大学中国矿业大学（北京）北京大学中国工程物理研究院材料研究所
起草人
李展平郭冲满瀚泽孙令辉马静怡周凌伏晓国章宇娟刘婕徐建业李芹胡小康陈建
相近标准(计划)
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