碳化硅晶体材料缺陷图谱

基础信息

标准号：GB/T 43612-2023发布日期：2023-12-28实施日期：2024-07-01标准类别：基础中国标准分类号：H 80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

丁雄杰刘薇李素青丁晓民张红岩杨昆高伟路亚娟钮应喜晏阳吴殿瑞李国鹏张胜涛夏秋良韩景瑞贺东江张红李焕婷李斌尹浩田佘宗静王阳姚康金向军张新峰赵丽丽李国平

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