微束分析 透射电子显微术 集成电路芯片中功能薄膜层厚度的测定方法
Microbeam analysis—Transmission electron microscopy—Method for measuring the thickness of functional thin films in integrated circuit chips
基础信息
标准号：GB/T 43748-2024发布日期：2024-03-15实施日期：2024-10-01标准类别：方法中国标准分类号：N 33国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国微束分析标准化技术委员会执行单位：全国微束分析标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
广东省科学院工业分析检测中心胜科纳米（苏州）股份有限公司南方科技大学
起草人
伍超群于洪宇周鹏邱杨程鑫乔明胜陈文龙黄晋华汪青
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