电子气体 羰基硫

基础信息

标准号：GB/T 43773-2024发布日期：2024-03-15实施日期：2024-10-01标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31.030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

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