电子气体 二氧化碳
Electronic gas—Carbon dioxide
基础信息
标准号:GB/T 43772-2024发布日期:2024-03-15实施日期:2024-10-01标准类别:产品中国标准分类号:L90国际标准分类号:31.030 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门:国家标准委
起草单位
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起草人
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相近标准(计划)
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