半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法

基础信息

标准号：GB/T 24578-2024发布日期：2024-07-24实施日期：2025-02-01全部代替标准：GB/T 24578-2015,GB/T 34504-2017标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体硅材料股份公司浙江海纳半导体股份有限公司深圳牧野微电子技术有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司江苏华兴激光科技有限公司哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司深圳市晶导电子有限公司天通银厦新材料有限公司北京通美晶体技术股份有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司广东天域半导体股份有限公司江苏芯梦半导体设备有限公司深圳市深鸿盛电子有限公司湖南德智新材料有限公司

起草人

宁永铎孙燕朱晓彤康森潘金平任殿胜丁雄杰刘薇赵丽丽张西刚贺东江李素青靳慧洁孙韫哲张海英何凌沈演凤廖周芳赖辉朋廖家豪

相近标准(计划)

YS/T 27-1992 晶片表面微粒沾污测量和计数的方法GB/T 40110-2021 表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染20252793-T-607 首饰贵金属含量的测定X射线荧光光谱法20251514-Z-491 表面化学分析全反射X射线荧光光谱在生物和环境分析中的使用GB/T 30701-2014 表面化学分析硅片工作标准样品表面元素的化学收集方法和全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定20240410-T-607 家具涂层中重金属元素的快速测定 X射线荧光光谱法GB/T 42360-2023 表面化学分析水的全反射X射线荧光光谱分析SH/T 0934-2016 石油焦中痕量金属元素的测定 波长色散X射线荧光光谱法20252795-T-607 饰品 有害元素的测定 X射线荧光光谱法 YB/T 4907-2021 锰铁、锰硅合金和金属锰 锰、硅、铁、磷含量的测定 波长色散X射线荧光光谱法

相关服务热线： 如需《GB/T 24578-2024》相关的服务，可直接联系。 微析检测业务区域覆盖全国，专注为高分子材料、金属、半导体、汽车、医疗器械等行业提供大型仪器测试、性能测试、成分检测等服务。