微机电系统（MEMS）技术 MEMS压电薄膜机电转换特性测量方法

基础信息

标准号：GB/T 44515-2024发布日期：2024-09-29实施日期：2025-01-01标准类别：方法中国标准分类号：L59国际标准分类号：31.080.99 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-30:2017。采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第30部分：MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法。

起草单位

北京自动化控制设备研究所芯联集成电路制造股份有限公司苏州大学太原航空仪表有限公司山东中康国创先进印染技术研究院有限公司北京遥测技术研究所北京晨晶电子有限公司天津新智感知科技有限公司天津大学河北初光汽车部件有限公司河南芯睿电子科技有限公司华景传感科技（无锡）有限公司安徽奥飞声学科技有限公司中机生产力促进中心有限公司华润上华科技有限公司中国航天科工飞航技术研究院深圳市美思先端电子有限公司西安交通大学上海新微技术研发中心有限公司上海芯物科技有限公司北京大学共达电声股份有限公司广东润宇传感器股份有限公司

起草人

王永胜张红宇张菁华孙立宁李拉兔刘会聪毛志平路文一王志广汤一郑冬琛陈得民卢弈鹏袁长作陈福操李树成安志武李根梓苏翼张新伟邢文忠徐堃单伟中许克宇要彦清娄亮姚鹏胡晓东仲胜利侯杰王志宏

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