电子特气 三氟化氮

基础信息

标准号：GB/T 21287-2021发布日期：2021-10-11实施日期：2022-05-01全部代替标准：GB/T 21287-2007标准类别：产品中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.100.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

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相近标准(计划)

GB/T 42721-2023 电子特气一氧化氮GB/T 40418-2021 电子特气 氟甲烷GB/T 40417-2021 电子特气 六氟丁二烯GB/T 17874-2021 电子特气三氯化硼GB/T 14601-2025 电子特气 氨GB/T 14851-2025 电子特气 磷化氢GB/T 42720-2023 电子特气六氯乙硅烷GB/T 34085-2017 电子工业用气体 三氟甲烷NY 831-2004 柑橘中苯螨特、噻嗪酮、氯氰菊酯、苯硫威、甲氰菊酯、唑螨酯、氟苯脲最大残留限量HG 2304-1992 工业三氟三氯乙烷

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