流化床法颗粒硅 氢含量的测定 脉冲加热惰性气体熔融红外吸收法

基础信息

标准号：GB/T 40566-2021发布日期：2021-10-11实施日期：2022-05-01标准类别：方法中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

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