硅片翘曲度和弯曲度的测试 自动非接触扫描法

基础信息

标准号：GB/T 32280-2022发布日期：2022-03-09实施日期：2022-10-01全部代替标准：GB/T 32280-2015标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

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相近标准(计划)

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