光学元件表面疵病定量检测方法 显微散射暗场成像法
Methodology for the quantitative inspection of the defect on optics surface—Microscopic scattering dark-field imaging
基础信息
标准号:GB/T 41805-2022发布日期:2022-10-12实施日期:2023-05-01标准类别:方法中国标准分类号:N05国际标准分类号:81.040.01 归口单位:全国光学和光子学标准化技术委员会执行单位:全国光学和光子学标准化技术委员会光学材料和元件分会主管部门:中国兵器工业集团公司
起草单位
浙江大学中国科学院大连化学物理研究所中国科学院上海光学精密机械研究所江苏皇冠新材料科技有限公司杭州晶耐科光电技术有限公司中国工程物理研究院激光聚变研究中心中国兵器工业标准化研究所福建福特科光电股份有限公司
起草人
杨甬英曹频刘旭刘世杰李炜娜麦启波李刚杨李茗胡丽丽徐晓飞黄木旺
相近标准(计划)
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