半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法
Test method for resistivity of semi-insulating monocrystalline silicon carbide by contactless measurement
国家标准
推荐性
基础信息
标准号：GB/T 42271-2022发布日期：2022-12-30实施日期：2023-04-01标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委
起草单位
北京天科合达半导体股份有限公司安徽长飞先进半导体有限公司中国电子科技集团公司第四十六研究所中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟有色金属技术经济研究院有限责任公司
起草人
彭同华佘宗静李素青王波刘立娜王大军张贺杨建袁松
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