碳化硅单晶抛光片

基础信息

标准号：GB/T 30656-2023发布日期：2023-03-17实施日期：2023-10-01全部代替标准：GB/T 30656-2014标准类别：产品中国标准分类号：H83国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

北京天科合达半导体股份有限公司南京国盛电子有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司中国科学院物理研究所安徽长飞先进半导体有限公司

起草人

陈小龙彭同华刘春俊李素青郑红军杨建佘宗静王波郭钰娄艳芳骆红钮应喜

相近标准(计划)

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