微机电系统（MEMS）技术 微沟槽和棱锥式针结构的描述和测量方法

基础信息

标准号：GB/T 42158-2023发布日期：2023-03-17实施日期：2023-07-01标准类别：基础中国标准分类号：L59国际标准分类号：31.080.99 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

采标情况

本标准等同采用IEC国际标准：IEC 62047-26:2016。采标中文名称:半导体器件 微机电器件 第26部分：微沟槽和针结构的描述和测量方法。

起草单位

苏州市质量和标准化院苏州揽芯微纳科技有限公司苏州市标准化协会深圳市中图仪器股份有限公司深圳市美思先端电子有限公司深圳市道格特科技有限公司中机生产力促进中心有限公司东南大学美满芯盛（杭州）微电子有限公司四川富生电器有限责任公司中国合格评定国家认可中心

起草人

张硕顾枫俞骁周再发许百宏许克宇李根梓沈俊杰王敏锐贾建国王志远刘志广

相近标准(计划)

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