MEMS压阻式压力敏感器件性能试验方法
Test methods of the performances for MEMS piezoresistive pressure-sensitive device
基础信息
标准号:GB/T 42191-2023发布日期:2023-05-23实施日期:2023-09-01标准类别:方法中国标准分类号:L59国际标准分类号:31.080.99 归口单位:全国微机电技术标准化技术委员会执行单位:全国微机电技术标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
北京大学北京智芯传感科技有限公司厦门光莆电子股份有限公司宁波志伦电子有限公司华东光电集成器件研究所南京高华科技股份有限公司湖南国天电子科技有限公司广州广电计量检测股份有限公司深圳安培龙科技股份有限公司中机生产力促进中心有限公司昆山昆博智能感知产业技术研究院有限公司江门市润宇传感器科技有限公司广州奥松电子股份有限公司深圳市美思先端电子有限公司中国科学院微电子研究所南京沃天科技股份有限公司武汉飞恩微电子有限公司昆山传感器测控技术有限公司
起草人
张威顾枫李宋张亚婷林瑞梅李树成王鹏李晓波陈路高峰陈君杰王冰李根梓陈广忠张良陈立国茅曙张宾许宙王玮冰明志茂曹万
相近标准(计划)
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