微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

基础信息

标准号：GB/T 42897-2023发布日期：2023-08-06实施日期：2023-12-01标准类别：方法中国标准分类号：L59国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

张大成杨芳刘鹏李凤阳陈艺于志恒张彦秀王清娜宏宇赵成龙李根梓顾枫王旭峰高程武华璇卿刘若冰邵峥李强张宾李海全

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