锗单晶位错密度的测试方法

基础信息

标准号：GB/T 5252-2020发布日期：2020-06-02实施日期：2021-04-01全部代替标准：GB/T 5252-2006标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

有研光电新材料有限责任公司国合通用测试评价认证股份公司中国电子科技集团公司第四十六研究所中锗科技有限公司北京国晶辉红外光学科技有限公司云南临沧鑫圆锗业股份有限公司广东先导稀材股份有限公司义乌力迈新材料有限公司

起草人

张路冯德伸姚康刘新军韦圣林黄洪伟文马会超普世坤郭荣贵向清华

相近标准(计划)

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