水平法砷化镓单晶及切割片
Gallium arsenide single crystal and cutting wafer grown by horizontal bridgman method
基础信息
标准号:GB/T 11094-2020发布日期:2020-09-29实施日期:2021-08-01全部代替标准:GB/T 11094-2007标准类别:产品中国标准分类号:H83国际标准分类号:29.045 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门:国家标准委
起草单位
有研光电新材料有限责任公司广东先导先进材料股份有限公司雅波拓(福建)新材料有限公司有色金属技术经济研究院北京聚睿众邦科技有限公司
起草人
于洪国林泉李素青马远飞权盼朱刘杨丽霞付萍马英俊赵敬平李万朋许所成周铁军闫方亮
相近标准(计划)
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