表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染
Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy
基础信息
标准号：GB/T 40110-2021发布日期：2021-05-21实施日期：2021-12-01标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 14706:2014。采标中文名称:表面化学分析全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染。
起草单位
中国计量科学研究院华南理工大学
起草人
王海张艾蕊徐昕荣范燕王梅玲任丹华
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