硅单晶电阻率的测定 直排四探针法和直流两探针法

基础信息

标准号：GB/T 1551-2021发布日期：2021-05-21实施日期：2021-12-01全部代替标准：GB/T 1551-2009标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

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起草人

刘立娜刘兆枫杨素心孙燕梁洪潘金平李慎重潘文宾皮坤林何烜坤刘刚高英王昕楼春兰宗冰蔡丽艳王志强

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