砷化镓单晶AB微缺陷检验方法
The inspecting method of AB microscopic defect in gallium arsenide single crystal
基础信息
标准号：GB/T 18032-2000发布日期：2000-04-03实施日期：2000-09-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：H24国际标准分类号：77.040.01 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
北京有色金属研究总院
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