半导体制造用气体处理指南

基础信息

标准号：GB/T 34971-2017发布日期：2017-11-01实施日期：2018-02-01标准类别：基础中国标准分类号：G86国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中昊光明化工研究设计院有限公司高麦仪器公司东莞市联臣电子科技有限公司上海市计量测试技术研究院西南化工研究设计院有限公司广东华特气体股份有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司

起草人

孙福楠牛艳东王鸿方华廖恒易杜汉盛陈鹰周鹏云

相近标准(计划)

NB/T 20038-2011 核空气和气体处理规范 设计和制造通用要求NB/T 20143.1-2012 核空气与气体处理规范 工艺气体处理 第1部分：氢气复合装置NB/T 20196.2-2023 核空气和气体处理规范 试验规程 第 2 部分：气体处理系统的现场试验DB21/T 4085-2025 汽车制造业温室气体排放核算与报告指南GB/T 7509-1987 半导体集成电路微处理器空白详细规范 （可供认证用）NB/T 20143.3-2017 核空气和气体处理规范 工艺气体处理 第3部分： 放射性废气滞留设备20240248-T-339 半导体集成电路 图形处理器（GPU）20251888-T-467 城市温室气体排放核算指南20250936-T-339 半导体器件第14-12部分： 半导体传感器基于CMOS成像的气体传感器的性能测试方法QX/T 213-2013 温室气体玻璃采样瓶预处理和后处理方法

相关服务热线： 如需《GB/T 34971-2017》相关的服务，可直接联系。 微析检测业务区域覆盖全国，专注为高分子材料、金属、半导体、汽车、医疗器械等行业提供大型仪器测试、性能测试、成分检测等服务。