200mm硅外延片
200mm silicon epitaxial wafer
基础信息
标准号:GB/T 35310-2017发布日期:2017-12-29实施日期:2018-07-01标准类别:产品中国标准分类号:H82国际标准分类号:29.045 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
南京国盛电子有限公司有色金属技术经济研究院
起草人
马林宝骆红杨素心杨帆金龙
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