X射线反射法测量薄膜的厚度、密度和界面宽度 仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告
Evaluation of thickness, density and interface width of thin films by X-ray reflectometry—Instrumental requirements, alignment and positioning, data collection, data analysis and reporting
基础信息
标准号：GB/T 36053-2018发布日期：2018-03-15实施日期：2019-02-01上次复审日期：2025-08-06上次复审结论：修订标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准：ISO 16413:2013。采标中文名称:X射线反射测量法评估薄膜的厚度、密度和界面宽度—仪器要求、准直和定位、数据采集、数据分析和报告。
起草单位
中国计量科学研究院
起草人
王海王梅玲张艾蕊宋小平
相近标准(计划)
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