MEMS电场传感器通用技术条件

基础信息

标准号：GB/T 35086-2018发布日期：2018-05-14实施日期：2018-12-01标准类别：产品中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院电子学研究所西安西谷微电子有限责任公司中机生产力促进中心

起草人

夏善红彭春荣程红兵朱悦李海斌郑凤杰白巍

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