硅单晶抛光片

基础信息

标准号：GB/T 12964-2018发布日期：2018-09-17实施日期：2019-06-01全部代替标准：GB/T 12964-2003标准类别：产品中国标准分类号：H82国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

有研半导体材料有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司浙江省硅材料质量检验中心天津市环欧半导体材料技术有限公司上海合晶硅材料有限公司浙江海纳半导体有限公司有色金属技术经济研究院

起草人

孙燕卢立延楼春兰杨素心徐新华张海英潘金平张雪囡

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