确定晶片坐标系规范

基础信息

标准号：GB/T 16596-2019发布日期：2019-03-25实施日期：2020-02-01全部代替标准：GB/T 16596-1996标准类别：基础中国标准分类号：H80国际标准分类号：29.045 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会主管部门：国家标准委

起草单位

有色金属技术经济研究院浙江海纳半导体有限公司上海合晶硅材料有限公司有研半导体材料有限公司浙江省硅材料质量检验中心

起草人

卢立延孙燕楼春兰胡金枝潘金平杨素心李素青

相近标准(计划)

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