物理气相沉积TiN薄膜技术条件

基础信息

标准号：GB/T 18682-2002发布日期：2002-03-10实施日期：2002-08-01上次复审日期：2023-12-28上次复审结论：继续有效标准类别：基础中国标准分类号：A29国际标准分类号：25.220.20 归口单位：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会执行单位：全国金属与非金属覆盖层标准化技术委员会主管部门：中国机械工业联合会

起草单位

武汉材料保护研究所

相近标准(计划)

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