半导体材料切削液

基础信息

标准号：GB/T 31469-2015发布日期：2015-05-15实施日期：2016-01-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：产品中国标准分类号：L90国际标准分类号：31-030 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

扬州华裕光伏材料有限公司扬州市职业大学中国电子技术标准化研究院西安飞讯光电有限公司东方电气集团峨嵋半导体材料有限公司

起草人

缪德俊徐蓉艳丁浩郭倩缪立山彭新玲蒲学军

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