俄歇电子能谱与X射线光电子能谱测试中确定检测信号对应样品区域的通则

基础信息

标准号：GB/T 31470-2015发布日期：2015-05-15实施日期：2016-01-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：N26国际标准分类号：17.220.20 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

信息产业专用材料质量监督检验中心苏州晶瑞化学有限公司中国电子技术标准化研究院天津中环领先材料技术有限公司

起草人

李雨辰何秀坤李翔刘筠刘兵

相近标准(计划)

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