氮化镓单晶衬底表面粗糙度的原子力显微镜检验法

基础信息

标准号：GB/T 32189-2015发布日期：2015-12-10实施日期：2016-11-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所苏州纳维科技有限公司

起草人

刘争晖钟海舰邱永鑫曾雄辉徐耿钊樊英民王建峰徐科

相近标准(计划)

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