氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

基础信息

标准号：GB/T 32188-2015发布日期：2015-12-10实施日期：2016-11-01上次复审日期：2016-12-31上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：H21国际标准分类号：77.040 归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门：国家标准委

起草单位

中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中国科学院物理研究所丹东新东方晶体仪器有限公司苏州纳维科技有限公司北京天科合达蓝光半导体有限公司

起草人

邱永鑫任国强王建峰陈小龙徐科赵松彬刘争晖曾雄辉王文军郑红军

相近标准(计划)

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