硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the combination of the deep etching and bonding process
国家标准
推荐性
基础信息
标准号：GB/T 32816-2016发布日期：2016-08-29实施日期：2017-03-01上次复审日期：2023-12-28上次复审结论：继续有效标准类别：基础中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
北京大学大连理工大学中机生产力促进中心北京青鸟元芯微系统科技有限公司
起草人
张大成杨芳何军黄贤邹赫麟田大宇李海斌王玮刘冲刘伟姜博岩
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