表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率
Surface chemical analysis—Depth profiling—Measurement of sputtering rate: mesh-replica method using a mechanical stylus profilometer
基础信息
标准号：GB/T 32999-2016发布日期：2016-10-13实施日期：2017-09-01上次复审日期：2023-12-28上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准：ISO/TR 22335:2007。采标中文名称:表面化学分析 深度剖析 用机械轮廓仪栅网复型法测量溅射速率。
起草单位
北京师范大学分析测试中心清华大学分析中心
起草人
吴正龙姚文清
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