多晶硅 痕量元素化学分析 辉光放电质谱法
Polycrystalline silicon—Determination of trace elements—Glow discharge mass spectrometry method
基础信息
标准号：GB/T 33236-2016发布日期：2016-12-13实施日期：2017-11-01上次复审日期：2023-12-28上次复审结论：继续有效标准类别：方法中国标准分类号：G04国际标准分类号：71.040.40 归口单位：全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位：全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门：中国科学院
起草单位
中国科学院上海硅酸盐研究所
起草人
卓尚军钱荣盛成高捷董疆丽申如香郑文平
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