MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
基础信息
标准号：GB/T 33922-2017发布日期：2017-07-12实施日期：2018-02-01标准类别：方法中国标准分类号：L55国际标准分类号：31.200 归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会执行单位：全国微机电技术标准化技术委员会主管部门：国家标准委
起草单位
北京大学北京必创科技股份有限公司中北大学中机生产力促进中心中国电子科技集团公司第十三研究所
起草人
张威程红兵崔波石云波陈得民李海斌朱悦
相近标准(计划)
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