光掩模石英玻璃基板

基础信息

标准号：GB/T 34178-2017发布日期：2017-09-07实施日期：2018-08-01上次复审日期：2025-07-01上次复审结论：继续有效标准类别：产品中国标准分类号：Q35国际标准分类号：81.040.30 归口单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会执行单位：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会主管部门：中国建筑材料联合会

起草单位

中国建材检验认证集团股份有限公司长沙韶光铬版有限公司国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心中建材衢州金格兰石英有限公司中国建筑材料科学研究总院

起草人

吴洁王京侠花宁刘焕敏张浩运杨晓会张应语王友军李弋舟肖颂华聂兰舰杨学东孔敏

相近标准(计划)

GB/T 16523-1996 圆形石英玻璃光掩模基板规范GB/T 15871-1995 硬面光掩模基板GB/T 16524-1996 光掩模对准标记规范GB/T 16880-1997 光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则SJ/T 31080-2016 光掩模制作用图形发生器完好要求和检查评定方法GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则20204845-T-339 嵌入式基板测试方法20253163-Z-339 嵌入式空腔基板设计规则20251825-Z-339 嵌入式基板 设计规则20253165-Z-339 嵌入式基板电气测试指南

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