表面化学分析 工作参考物质中离子注入产生的驻留面剂量定值的推荐程序
Surface chemical analysis—Proposed procedure for certifying the retained areic dose in a working reference material produced by ion implantation
基础信息
标准号:GB/T 34174-2017发布日期:2017-09-07实施日期:2018-08-01标准类别:方法中国标准分类号:G04国际标准分类号:71.040.40 归口单位:全国表面化学分析标准化技术委员会执行单位:全国表面化学分析标准化技术委员会主管部门:中国科学院
采标情况
本标准等同采用ISO国际标准:ISO/TR 16268:2009。采标中文名称:表面化学分析验证工作参考物质中离子植入产生的保留面剂量的建议规程。
起草单位
中国科学院化学研究所国家纳米科学中心中国石化石油化工科学研究院
起草人
邱丽美刘芬赵志娟章小余徐鹏刁玉霞
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