硅片字母数字标志规范
Specification for alphanumeric marking of silicon wafers
基础信息
标准号:GB/T 34479-2017发布日期:2017-10-14实施日期:2018-07-01标准类别:基础中国标准分类号:H80国际标准分类号:29.045 归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会执行单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会主管部门:国家标准委
起草单位
有研半导体材料有限公司浙江省硅材料质量检验中心
起草人
张静孙燕边永智楼春兰
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